Tray AFVI

Tray AFVI 검사 장비
대표 모델

고해상도 컬러 및 덴트 검사Tray AFVI

Unit 레벨 최종 외관 검사를 담당 합니다.

2.5-5um 컬러 및 Dent 검사 확장 가능한 Tray AFVI

JEDEC Tray에 담긴 FC-BGA Unit 검사를 위한 AFVI 제품군으로 양면 자동 검사가 가능합니다.

제품 유형

Unit on JEDEC Tray

FC-BGA unit inspection을 tray loading 중심으로 대응

적재 용량

Max. 150 Tray

auto flip이 필요한 2D 구성과 one-side 3D 구성을 구분해 제안

제품 문의

Tray AFVI 제품군 간단 사양

U-400T / Color Unit 2D AFVI

JEDEC tray 기반의 표준 unit inspection 구성으로, 양면 auto flip과 tray 적재 운영을 지원합니다.

  • Color: 2.5-5 um/pixel
  • Metal / SR
  • Max. 150 tray at once
  • System size: 2,330(W) x 1,780(D) x 1,965(H) mm
  • Multi-angle white LED
  • 25 sec/tray
  • 양면 auto flip

U3D-400T / Unit 3D AFVI

높이 편차와 3D shape 검증이 필요한 unit inspection용 one-side tray 구성입니다.

  • X: 6.5 um, Z: 20 nm
  • FOV: 11.6 mm
  • 35 sec/tray
  • System size: 1,960(W) x 1,510(D) x 2,105(H) mm
  • Z-repeatability: 200 nm
  • Range: 350 um to 500 um
  • Unit on JEDEC tray, one side
선정 기준

Tray AFVI 선택 포인트

  • JEDEC Tray 상에서 양면 2D 컬러 검사를 할 경우 U-400T 검토
  • 범프 높이 검사 필요 시 U3D-400T 검토
  • Tray-in Tray-out 공정을 기준으로 설계
  • IVS / ICS와 연계해 비접촉 베리파이 흐름으로 확장할 수 있습니다
운영 메모

공정 운영 메모

  • JEDEC Tray를 사용하여 상하면 자동 검사 가능
  • 3D AFVI를 이용해 Bump 높이 측정 및 Warpage 검사 가능
  • SR 및 Metal 결함 검출 가능