Color Panel AVI
P-400CA
PSR 이후 공정용 양면 auto flip panel-in-tray 구성입니다.
- Cu exposure ≥ 15 um
- Color: 2.5 um/pixel
- Multi-angle white LED
- Metal / SR / bump, 240 sec/panel
- System size: 2,956(W) x 2,725(D) x 2,200(H) mm
대표 모델제품 문의
고해상도 컬러, UV, IR, 덴트 검사Panel AVI
Panel 레벨 중간 공정에서의 게이트 키퍼 역할을 합니다.
컬러 검사부터 특수 광학계까지 확장 가능한 Panel AVI
Color 검사를 기본으로 UV, IR 등 특수 파장대 검사로 확장하여, SR후 공정은 물론 ABF후 공정,
VHP후 공정, CZ후 공정 등 다양한 공정에 적용 가능한 Panel AVI 제품군 입니다.
제품 특징
해상도 범위
2-5 Um/Pixel
Color, UV, IR 다파장 대응 가능
적용 공정
ABF / PSR / CZ / VHP
FOUP, Tray, Box 자동화 대응 가능
Panel AVI 제품군 간단 사양
UV + Color Panel AVI
P-400HUV
CZ 이후 공정에서 DFR residue와 fluorescence 기반 결함 분리를 위한 복합 광학 구성입니다.
- Dry film residue ≥ 10 um
- UV and multi-angle white LED
- Normal: 110 sec/panel, HR: 520 sec/panel
- UV and Color: 2.5-5 um/pixel
- All inside panel (unit + dummy area)
- System size: 3,822(W) x 2,632(D) x 2,237(H) mm
IR + Color Panel AVI
P-400CIRA
PSR 이후 공정에서 short under SR, open / short, Cu exposure 대응에 쓰는 IR 복합 광학 설비입니다.
- Cu exposure, open/short ≥ 15 um
- IR and multi-angle white LED
- Normal: 120 sec/panel, HR: 250 sec/panel
- IR and Color: 2.5-5 um/pixel
- Metal / SR
- System size: 3,822(W) x 2,632(D) x 2,237(H) mm
Manual Type
P-400C
PSR 이후 공정용 one-side manual panel inspection 구성입니다.
- Cu exposure ≥ 15 um
- Multi-angle white LED
- Normal: 60 sec/side, HR: 85 sec/side
- Color: 2.5, 3 um/pixel
- Metal / SR / bump
- System size: 1,280(W) x 2,635(D) x 1,900(H) mm