Panel
Panel / Quad
고해상도 컬러 이미지를 기반으로 외관 불량, ABF Void, SR Pinhole과 같은 크리티컬한 결함을 검출하는 메인 검사 플랫폼 입니다.
- 2-5 um/pixel 대응
- Color, UV, IR optical expansion
대표 설비군 라인업
Strip AFVI
Strip AFVI
FC-BGA, FC-CSP 스트립 공정을 위한 AFVI 제품군으로 단적식과 매거진 타입 대응이 가능하고, 양면 자동 검사가 가능한 검사 플랫폼 입니다.
- 1-5um/pixel 대응, Color, IR, Dent optical expansion
- Stack and Magazine configuration
Tray AFVI
Tray AFVI
JEDEC Tray에 FC-BGA Unit이 담긴 상태로 외관불량과 Dent 검사가 가능한 검사 플랫폼 입니다.
- 2.5-5um/pixel 대응, Color, IR, Dent optical expansion
- Tray-in Tray-out configuration, 3D AFVI expansion
Tray AFVI
IVS / ICS / AI
AVI 검출 이미지를 이어받아 과검 제거, 결함 분류, 고배율 재확인을 수행하는 비접촉 베리파이 흐름입니다.
- IVS 기반 결함 리뷰
- iCS All-in-Focus 정밀 리뷰
Pixel Master
Pixel Master
CAM / NAS / spec database를 중앙 관리해 동일 모델의 호기간 전개와 레시피 확산 속도를 높입니다.
- 중앙 recipe / spec 관리
- 호기간 수평 전개 지원
결함 및 베리파이 예시
UV 예시
Color vs Fluorescence
가시광에서는 시인이 어려운 DFR 잔사 결함을 UV 형광 반응을 이용해 검출 가능 합니다.
IR 예시
Color vs IR
컬러 보다 더욱 명확하게 SR 하부의 Open/Short 패턴 검사가 가능 합니다.
Dent 예시
Color vs Dent
일반 검사 이미지에서는 시인 되지 않은 덴트성 결함을 전용 광학계에서 검출 가능 합니다.
컬러 예시
Mono vs Color
흑백 이미지로는 구분이 어려웠던 결함 유형을 컬러에서는 구분 가능하며, 작업자와 AI 모두에 활용이 가능 합니다.