

Panel / Quad
고해상도 컬러 검사와 특수 광학 기술을 활용하여 Panel·Quad 단위의 외관 결함 및 ABF Void, SR Pinhole 등 주요 결함을 정밀하게 검사합니다.
- 광학 해상도: 2~5 µm/pixel 지원
- 광학 구성: 컬러 검사 기반, UV·IR 검사 확장 가능
From Detection to Decision
Panel·Strip·Tray 검사장비와 AI 검사·필터링, IVS/ICS 검증, Pixel Master의 레시피 관리를 연계하여 양산 현장의 결함 검출 성능과 판정 효율을 높입니다.
사업 분야
Advanced Package Substrate Inspection
AI 서버 및 고성능 컴퓨팅(HPC)용 반도체에 사용되는 FC-BGA 패키지 기판을 대상으로, Panel·Strip·Unit 각 공정의 SR 및 금속 패턴 영역에서 발생하는 미세 외관 결함을 정밀하게 검사합니다.

Advanced Glass Substrate Inspection
차세대 반도체 패키징용 유리기판의 특성에 맞춘 광학계와 영상처리 기술을 적용하여 비아홀(Via Hole), 크랙(Crack) 등 주요 외관 결함을 정밀하게 검사합니다.

Precision Wafer Surface Inspection
첨단 반도체 제조 공정에 사용되는 웨이퍼를 대상으로, 고해상도 광학 영상 기술을 적용하여 표면 이상 및 미세 외관 결함을 정밀하게 검사합니다.

Color, UV, IR, Dent optics를공정별로 조합해 결함 검출 기반데이터를 확보합니다.Color, UV, IR, Dent optics를 공정별로 조합해 결함 검출 기반 데이터를 확보합니다.
크리티컬 영역에 대한 AI 검사와 OK/NG결함 필터링 솔루션으로 검출력 향상과작업자 확인 부담을 경감 합니다.크리티컬 영역에 대한 AI 검사와 OK/NG 결함 필터링 솔루션으로검출력 향상과 작업자 확인 부담을 경감 합니다.
이미지 기반 베리파이와 정밀 재촬영을결합해 최종 OK / NG 판단 정확도를 높입니다.이미지 기반 베리파이와 정밀 재촬영을 결합해 최종 OK / NG 판단 정확도를 높입니다.
Color, UV, IR, Dent optics를공정별로 조합해 결함 검출 기반데이터를 확보합니다.Color, UV, IR, Dent optics를 공정별로 조합해 결함 검출 기반 데이터를 확보합니다.
크리티컬 영역에 대한 AI 검사와 OK/NG결함 필터링 솔루션으로 검출력 향상과작업자 확인 부담을 경감 합니다.크리티컬 영역에 대한 AI 검사와 OK/NG 결함 필터링 솔루션으로검출력 향상과 작업자 확인 부담을 경감 합니다.
이미지 기반 베리파이와 정밀 재촬영을결합해 최종 OK / NG 판단 정확도를 높입니다.이미지 기반 베리파이와 정밀 재촬영을 결합해 최종 OK / NG 판단 정확도를 높입니다.
사업 분야