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광학, 검사, 데이터, AI, 베리파이 시스템을 하나로 묶는 PIXEL의 검사 기술 체계
Color imaging, special optics, AI inspection, CAD segmentation, IVS / ICS가 실제 판정 품질과 운영 효율을 어떻게 높이는지 소개합니다.
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Color vs Mono
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color vs UV
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Color vs Dent
Core Technology
각 기술이 어떤 결함 유형과 운영 과제를 해결하는지 중심으로 확인할 수 있습니다.
더 많은 결함 정보를 담는 컬러 이미지
모노 이미지보다 색상과 질감 차이를 더 풍부하게 보여 주어 결함 변별력과 작업자 판독성을 높입니다.
UV, IR, Dent 광학
DFR 잔사, SR 하부 Open/Short, Dent 결함과 같이 일반 조명만으로는 어려운 결함을 검출 합니다.
AI 검사
기존 룰베이스 검사에서는 검사하지 못 했던 크리티컬 영역을 AI로 검사 합니다.
CAD 기반 영역 분할과 데이터 관리
ODB++, Gerber, Golden Board를 기반으로 검사 영역을 생성하고 Bump / Metal / SR / Pattern / Via 별 영역을 분류하고, 영역별로 세세한 Segmentation과 검사 설정이 가능 합니다.
이미지 기반 베리파이
AVI 결함 이미지를 그대로 이용해 분류, 측정, 과검 제거, 최종 OK / NG 판정을 수행합니다.
All-in-Focus 정밀 베리파이
고배율 다층 이미지 획득으로 판정이 어려운 결함만 정밀하게 재확인이 가능하며, 3D 뷰를 제공 합니다.
레시피 중앙 관리
CAM / NAS / DB 기반 중앙 관리로 동일 모델의 호기간 전개와 유사 모델 재활용을 빠르게 하고, 개별 설비의 레시피 튜닝 시간까지 줄입니다.
결함 정보 통합 관리
전체 검사 설비의 결함 판정, 스펙 상태, 결함 트렌드 및 통계를 중앙에서 관리 가능 합니다.
검사, 베리파이, AI를 포함한 PIXEL 운영 체계
검사 장비, 베리파이, AI, recipe platform을 한 체계에서 운영할 수 있도록 PIXEL의 기술 구조를 구성합니다.
Panel AVI
Panel 양산 검사 메인 플랫폼으로 컬러 이미지 기반 결함 검출을 수행합니다.
- Pattern, contamination, SR-related 결함 검출
- UV and IR option available
Pattern, contamination, SR-related 결함 검출Strip & Tray AFVI
Strip, unit, tray 기반 package 외관 검사에 최적화된 제품군입니다.
- Strip magazine + stack and JEDEC tray operation
- 2D / 3D AFVI, dent and surface defect 대응
IVS
AVI 결함 이미지를 그대로 활용해 과검 제거와 defect classification을 수행합니다.
- Defect map based review
- Remote and touchless verification
ICS
고배율 All-in-Focus imaging과 Pseudo 3D View로 난판정 결함만 정밀 재확인합니다.
- x10 lens, 0.345 um/pixel
- 1.5 sec per point capture
Pixel Master
CAM / NAS / spec database를 중앙에서 관리해 모델 확산과 장비 간 전개 속도를 높입니다.
- Central recipe management
- Multi-line deployment support
현장 적용까지 이어지는 PIXEL AI Integration
룰 베이스 검사로 놓치기 쉬운 영역까지 보강하는 AI 검사
AVI / AFVI 이미지와 캠 데이터를 기반으로 크리티컬 영역, 비정형 결함 검사하고, 오버킬 패턴을 학습하여 IVS / ICS 워크플로와 연동해 최종 판정까지 이어집니다.
데이터 준비부터 현장 배포까지
공정별 컬러 검사 이미지를 이용하여 빠른 학습과 수평 전개가 가능 합니다.
- 데이터 관리와 라벨링 흐름 일원화
- 학습 모델 검증 후 즉시 라인 적용
- 운영 데이터 기반 재학습 구조
제조 검사에 맞춘 주요 AI 기능
검사는 물론 필터링까지 현장에서 사용 할 수 있는 AI 시스템 입니다.
- OK/NG 필터링 / 크리티컬 영역 검사
- 룰 베이스 검사와 병행 운영 가능
검출 성능과 운영 효율을 동시에 개선
룰 베이스 검사, AI 검사, 작업자를 연계해 NG 유출 리스크를 억제하고 작업자 소인화를 실현 합니다.
- NG 유출 제로
- 작업자 리뷰와 티칭 부담 경감
- IVS / ICS / Pixel Master 연계 운영
고객이 체감하는 문제와 해결 방향고객이 체감하는 문제와 해결 방향
검사 장비, 베리파이, AI, recipe platform을 한 체계에서 운영할 수 있도록 PIXEL의 기술 구조를 구성합니다.
모노 기반 검사로는 색 차이 판독이 어려움
결함 유형에 따라 컬러 이미지와 다파장 광학 옵션을 사용해 작업자와 AI 모두 더 많은 결함 단서를 확보 합니다.
과검 처리와 베리파이 부담이 큼
IVS, AI 필터링, ICS를 단계별로 조합해 NG 결함의 유출 없이 정밀한 리뷰를 실현 합니다.
레시피 전개 시, 모델 전환 시마다 작성 부담이 큼
픽셀 마스터를 통한 중앙 관리로 동일 모델의 호기간 전개 속도를 높이고, 개별 설비의 레시피 튜닝 시간을 획기적으로 단축 합니다.
불감대 영역 존재
크리티컬 영역에 대해 AI 검사 적용으로 기존 룰 베이스 검사에서는 검출 불가능한 결함까지 모두 검사 가능합니다.
자동화 불가한 목시 검사
덴트 결함과 같은 목시 의존도가 높은 결함도 픽셀의 특수 광학계로 검출 가능 합니다.
현재 공정에서 어떤 결함이 가장 어려운지 알려주시면 기술 조합부터 제안합니다.현재 공정에서 어떤 결함이 가장 어려운지 알려주시면 기술 조합부터 제안합니다.
Color, UV, IR, Dent, AI, IVS, ICS 중 어떤 축이 필요한지 공정 조건과 함께 검토할 수 있습니다.