IVS
Image-based Verification System
直接使用 AVI 彩色缺陷图像,快速执行过检剔除与实际不良确认的 Verify 阶段。
- 直接利用 AVI 彩色缺陷图像,减少过检并确认实际不良。
- 可与 Pixel AI 自动缺陷过滤联动。
- 可扩展为 Touch-free Verify 工作流。

从 AVI 图像 Review 到高分辨率再拍摄,一览以 IVS 与 ICS 为核心的 Verification System 配置。
从 AI 过滤到 Review、高倍率 Review、最终判定
减少检测后作业员确认量,仅对必要点位精密再确认。
产品特点
IVS
彩色缺陷图像 Review
过检剔除、实际不良确认、Auto IVS 过滤联动
ICS
0.345 um/pixel
提供 All-in-Focus 高分辨率图像与 Pseudo 3D View
直接使用 AVI 彩色缺陷图像,快速执行过检剔除与实际不良确认的 Verify 阶段。
仅对难判定缺陷进行高倍率、高分辨率再拍摄,提升作业员判定准确度的精密 Review 阶段。
减少作业员与产品接触,仅精密处理难判定缺陷,是 Verification 流程的核心。
基于 AVI 缺陷图像,执行 Overkill 剔除、Defect Measurement、Category Decision。
管理 Rule-Based 检测、AI、Human Verify 顺序,同步降低 Leakage Risk 与 Review 负担。
以高倍率 All-In-Focus Capture 再确认仅需人工判定的缺陷。
ICS 同时提供 2D 视图与附加 3D 视图,帮助更直观地判定缺陷。

