U-400T / Color Unit 2D AFVI
基于 JEDEC tray 的标准 unit inspection 配置，支持双面 auto flip 与 tray 装载运营。
- Color: 2.5-5 um/pixel
- Metal / SR
- Max. 150 tray at once
- System size: 2,330(W) x 1,780(D) x 1,965(H) mm
- Multi-angle white LED
- 25 sec/tray
- 双面 auto flip
代表型号产品咨询
高分辨率彩色及 Dent 检测Tray AFVI
负责 Unit 级最终外观检测。
可扩展 2.5-5um 彩色及 Dent 检测的 Tray AFVI
面向 JEDEC Tray 装载 FC-BGA Unit 检测的 AFVI 产品系列，支持双面自动检测。
产品类型
Unit on JEDEC Tray
以 tray loading 为中心应对 FC-BGA unit inspection
装载容量
Max. 150 Tray
区分需 auto flip 的 2D 配置与 one-side 3D 配置进行提案
Tray AFVI 产品系列简要规格
U3D-400T / Unit 3D AFVI
需高度偏差与 3D shape 验证的 unit inspection 用 one-side tray 配置。
- X: 6.5 um, Z: 20 nm
- FOV: 11.6 mm
- 35 sec/tray
- System size: 1,960(W) x 1,510(D) x 2,105(H) mm
- Z-repeatability: 200 nm
- Range: 350 um to 500 um
- Unit on JEDEC tray, one side
选型标准
Tray AFVI 选型要点
- JEDEC Tray 上需双面 2D 彩色检测时，建议 U-400T
- 需 Bump 高度检测时，建议 U3D-400T
- 以 Tray-in Tray-out 工艺为基准设计
- 可与 IVS / ICS 联动扩展为 Non-Contact Verify 流程
运营备忘
工艺运营备忘
- 使用 JEDEC Tray 可进行上下双面自动检测
- 利用 3D AFVI 可测量 Bump 高度及 Warpage
- 可检出 SR 及 Metal 缺陷
选型标准
Tray AFVI 选型要点
- JEDEC Tray 上需双面 2D 彩色检测时，建议 U-400T
- 需 Bump 高度检测时，建议 U3D-400T
- 以 Tray-in Tray-out 工艺为基准设计
- 可与 IVS / ICS 联动扩展为 Non-Contact Verify 流程
运营备忘
工艺运营备忘
- 使用 JEDEC Tray 可进行上下双面自动检测
- 利用 3D AFVI 可测量 Bump 高度及 Warpage
- 可检出 SR 及 Metal 缺陷