Color Panel AVI
P-400CA
PSR後工程向け両面auto flip panel-in-tray構成です。
- Cu exposure ≥ 15 um
- Color: 2.5 um/pixel
- Multi-angle white LED
- Metal / SR / bump, 240 sec/panel
- System size: 2,956(W) x 2,725(D) x 2,200(H) mm
代表モデル製品お問い合わせ
高解像度カラー、UV、IR、Dent検査Panel AVI
Panelレベル中間工程におけるゲートキーパーとして機能します。
カラー検査から特殊光学系まで拡張可能なPanel AVI
Color検査を基本とし、UV、IRなど特殊波長帯検査へ拡張。SR後工程はもちろん、ABF後工程、
VHP後工程、CZ後工程など多様な工程に適用可能なPanel AVI製品群です。
製品特徴
解像度範囲
2-5 Um/Pixel
Color, UV, IR 多波長対応可能
適用工程
ABF / PSR / CZ / VHP
FOUP、Tray、Box 自動化対応可能
Panel AVI 製品群 簡易仕様
UV + Color Panel AVI
P-400HUV
CZ後工程におけるDFR residueとfluorescenceベース欠陥分離のための複合光学構成です。
- Dry film residue ≥ 10 um
- UV and multi-angle white LED
- Normal: 110 sec/panel, HR: 520 sec/panel
- UV and Color: 2.5-5 um/pixel
- All inside panel (unit + dummy area)
- System size: 3,822(W) x 2,632(D) x 2,237(H) mm
IR + Color Panel AVI
P-400CIRA
PSR後工程におけるshort under SR、open / short、Cu exposure対応に使用するIR複合光学設備です。
- Cu exposure, open/short ≥ 15 um
- IR and multi-angle white LED
- Normal: 120 sec/panel, HR: 250 sec/panel
- IR and Color: 2.5-5 um/pixel
- Metal / SR
- System size: 3,822(W) x 2,632(D) x 2,237(H) mm
Manual Type
P-400C
PSR後工程向けone-side manual panel inspection構成です。
- Cu exposure ≥ 15 um
- Multi-angle white LED
- Normal: 60 sec/side, HR: 85 sec/side
- Color: 2.5, 3 um/pixel
- Metal / SR / bump
- System size: 1,280(W) x 2,635(D) x 1,900(H) mm